Caractéristiques des capteurs de pression à diffusion en silicium

Par rapport aux capteurs d'autres principes, les capteurs de pression diffusés en silicium présentent les caractéristiques suivantes :

1. Convient à la fabrication de capteurs à petite portée. L'effet piézorésistif de la résistance sensible à la force de la puce de silicium ne présente aucune zone morte dans la plage basse proche de zéro, et la plage du capteur de pression peut être aussi petite que plusieurs Kpa.

2. Sensibilité de sortie élevée. Le facteur de sensibilité de la résistance à la déformation du silicium est 50-100 fois supérieur à celui de la jauge de contrainte métallique, de sorte que la sensibilité du capteur correspondant est très élevée et que la plage de sortie générale est d'environ 100 mV. Par conséquent, il n’y a aucune exigence particulière pour le circuit d’interface et il est plus pratique à utiliser.

3. Haute précision. Étant donné que la détection, la conversion sensible et la détection du capteur sont réalisées par le même composant, il n'y a pas de lien de conversion intermédiaire et les erreurs de répétabilité et d'hystérésis sont faibles. Le silicium monocristallin lui-même présentant une grande rigidité et peu de déformation, une bonne linéarité est garantie.

4. En raison de la faible déformation de l'unité de travail de l'ordre de la micro-déformation, le déplacement maximal de la puce élastique est de l'ordre du sous-micron, il n'y a donc pas d'usure, pas de fatigue, pas de vieillissement et le service la durée de vie est aussi longue que 1 × 103 cycles de pression, avec des performances stables et une fiabilité élevée.

5. En raison des excellentes performances anticorrosion chimique du silicium, même les capteurs de pression en silicium diffusé non isolés ont un degré considérable de capacité d'adaptation à divers supports.

6. Étant donné que la puce adopte une technologie intégrée et ne comporte aucune pièce de transmission, elle est de petite taille et légère.

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